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光罩儲存及存取系統
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POS 150-G3 for Reticle SMIF Pod Opener
   




 
  • POS 150-G3 為一簡單可靠的 Reticle SMIF Pod Opener, Pod 打開後將Pod Shell 升起, 操作者可透過手持裝置將光罩取出  
  • 體積小,幾乎可以放在任何平台上
  • 整合 reticle protrusion sensor,避免閉合時,壓到 Reticle
  • 碰撞感應裝置,確保作業者及光罩的安全
  • Pod present sensor 及 Pod Shell sensor 隨時偵測Pod door 及 Pod shell 的狀態,避免操作錯誤
  • 通訊: 序列- SECS I/II
  • ID 讀寫裝置: RFID  或 IR-Link
  • 光罩 Barcode 讀取裝置 (選配)
 
 
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