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產品介紹
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光罩開盒機 |
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光罩儲存及存取系統
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POS 200R - 200mm Reticle SMIF Pod Opener |
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- POS-200R 為一簡單可靠的 Reticle SMIF Pod Opener, Pod 打開後將Pod Shell 升起, 操作者即可將光罩取出
- 體積小,幾乎可以放在任何平台上
- 整合 Reticle protrusion sensor,避免閉合時,壓到光罩
- Pod present sensor 及 Pod Shell sensor 隨時偵測Pod door 及 Pod shell 的狀態,避免操作錯誤
- 通訊: 平行/序列; SECS/GEM(選配)
- 光罩 Barcode 讀取 (選配)
- Pod ID 和光罩 ID 比對 (選配)
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