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產品介紹 
光罩儲存及存取系統
200mm晶圓自動化設備
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生產,流程管理, 物料追蹤管理系統
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代理產品 Yield Engineering Systems (YES)
代理產品 Thermco System Ltd
 
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光罩用eRack
 
·命名原則: eRack 150-(ID:Barcode/IR-Link/RFID)-(N2 充氣功)- x
富創得工程 光罩用標準型eRack
·eRack-150-(ID)-(N2)-4312(4x3)
·eRack-150-(ID)-(N2)-4416(4x4)
·eRack-150-(ID)-(N2)-4624(4x6)
·eRack-150-(ID)-(N2)-6848(6x8) 


Controller: IPC
OS: Win-XP embedded
Communication: HSMS-SECS II via TCP/IP(RJ-45) 
圖型操作及顯示界面 




 
 
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